MEMSMikro

Forschungsprojekt

Übersicht


Im Forschungsprojekt werden die Grenzen der gegenwärtig etablierten Halbleitertechnologie für MEMS-Mikrofone untersucht und hoch miniaturisierte Mikrofonmodule in einer innovativen dreidimensionalen Gehäusetechnologie aufgebaut und charakterisiert. Das Projekt ist eine Kooperation der Hochschule München mit der EPCOS AG und der Müller-BBM GmbH und des Frauenhofer-Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration..





Aufgaben


Das Forschungsvorhaben gliedert sich in drei Aufgabenbereiche:


  • Design, Prozessentwicklung, Prozessierung und Charakterisierung von MEMS Mikrofonchips
  • Konzeptfindung und Gehäuseentwicklung für digitale?3D Mems Mikrofone
  • Charakterisierung von Mikrofonen mit poly-Si bzw. monokristalliner Silizium Membran


Ansprechpartner

Prof. Dr. Gregor Feiertag
Raum: R 2.047

Tel.: 089 1265-3463
Fax: 089 1265-3403

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